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在氣體管道施工中，由于多種施工因素，管道連接處可能出現肉眼難以察覺的小孔，這在使用過程中可能導致泄漏問題。在微電子領域，如半導體和電子集成電路生產中，氣體管道輸送的超高純度電子氣體泄漏可能嚴重影響生產安全，因此泄漏檢測至關重要。 泄漏檢測法是檢測高純度氣體管道泄漏的有效手段。其工作原理...
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