在氣體管道施工中，由于多種施工因素，管道連接處可能出現肉眼難以察覺的小孔，這在使用過程中可能導致泄漏問題。在微電子領域，如半導體和電子集成電路生產中，氣體管道輸送的超高純度電子氣體泄漏可能嚴重影響生產安全，因此泄漏檢測至關重要。

    泄漏檢測法是檢測高純度氣體管道泄漏的有效手段。其工作原理是在管道內部形成真空，然后在外部噴射氦氣。氦氣若通過泄漏點進入管道內部，測試儀將檢測到氦氣的存在，表明管道存在泄漏。由于氦氣分子極小，能夠滲透微小開口，該方法特別適用于檢測微小泄漏。

    具體檢測步驟如下：

    1.確保系統內所有閥門和壓力調節閥完全打開。

    2.確認系統壓力為零，若系統處于正壓，需先排空氣體。

    3.緩慢開啟泄漏試驗機入口，開始抽真空，直至達到可測試狀態。

    4.記錄試驗機背景氦泄漏率，只有當該值低于1×10^-9mbar.l/s時，才可進行下一步。

    5.從最近的焊縫或連接點開始，用噴槍噴射氦氣，讓其在該點停留一段時間，然后移至下一點，直至檢查完畢。

    6.若檢測到檢測儀指示器升高，等待其穩定后，再次檢查以確認泄漏。若非焊縫或連接點泄漏，逆向檢查前一點直至找到泄漏源。

    7.檢查所有連接點后，繼續觀察檢測儀數約10分鐘，確認系統與檢測儀分離前無異常。

    8.若所有連接點的氦泄漏率均低于1x10^-9mbar.l/s，則系統泄漏率合格。測試人員應將測試結果記錄在測試報告中。

    在高純度氣體管道測試過程中，必須確保測試環境清潔穩定，避免外部因素干擾測試結果。此外，定期校準和維護檢測儀對于保證測試的準確性和穩定性至關重要。