在檢驗小型密封部件的氣密性時，可采用一種技術，即通過外部壓力將放射性同位素氪85的氣態形式注入待測物中，保持一段時間后，釋放壓力并清洗部件，隨后測量“氣體充注量”，這種檢測方法同樣適用于氦氣作為檢測介質。

高頻真空檢測

    高頻真空檢測儀不僅適用于檢測玻璃設備中的壓力，還可用于識別塑料或金屬涂層中的微小孔隙。該設備包括一個手持部分和一個電源組，手持部分配備了一個類似刷子的高頻電極。通過觀察氣體放電的形狀和顏色，可以大致估計玻璃設備內的壓力。對于主要由特斯拉變壓器（提供高壓和高頻交流電）構成的高頻真空檢測儀，靠近儀器的電暈電極會引發內部的無電極放電。放電的強度和顏色取決于壓力和氣體的種類。通過這種發光放電現象，我們可以大致了解儀器內部的當前壓力，當壓力過高或過低時，放電亮度會消失。

    在尋找玻璃設備上的漏點時，可以使用高頻真空檢測儀的電極掃描或探測可疑區域。在有漏氣的地方，電弧會穿過玻璃壁上的小孔，形成明亮的放電軌跡。這些小孔可能會被電弧火花擴大！真空檢測儀的電暈放電還可能穿透玻璃上較薄的區域，尤其是焊點以及中間部件之間的過渡區域。原本不漏氣的設備也可能因為使用這種檢測方式而變得漏氣，與其他實用的檢漏儀裝置相比，高頻真空檢測儀的作用非常有限。

利用化學反應和染料滲透法檢漏

    通過產生變色的化學反應，或者能夠滲入細小開口的染料溶液來查找或檢測漏氣點，利用漏氣點溢出的鹵素氣體會導致火焰變色的原理，來查找制冷裝置焊縫中的漏氣點。

    還有一種較少使用的通過化學效應來檢測漏氣的方法就是氨氣法，原理是溢出的氨氣在接觸到包裹被測件的氨熏曬圖紙或者適當制備的其他材料時，會導致其發生變色。所以，可以根據紙張變色情況來檢測是否存在漏點。

    該方法可用于檢測一次性注射器或藥品包裝的材料是否合適。在評估液體的細微泄漏時，需要考慮固體表面的可潤濕性和毛細管作用，與蒸汽不同，需要區分親水性和疏水性固體。